溶液處理法仍是高性能鈣鈦礦/矽疊層電池的主流製程，但同時達成工業規模化生產與長期可靠性仍具挑戰。

熱蒸鍍法在工業上更具可行性，但迄今尚未成功應用於大面積鈣鈦礦/矽疊層電池，主要原因是甲脗銨碘化物（FAI）在高溫蒸鍍過程中會發生熱降解。

在此，我們合成了一種甲脗銨基低共熔物（Eu），能將FAI的有效蒸鍍溫度平均降低攝氏36度，使其低於其降解閾值，從而實現穩定的FAI蒸鍍，且無熱降解現象。

結果顯示，蒸鍍的鈣鈦礦薄膜展現出增強的結晶度和原子級別的成分均勻性。

依序蒸鍍的鈣鈦礦/矽疊層電池達到了31.5%（1 cm²）的穩定效率。

受益於蒸鍍的均勻性，我們進一步展示了首個在商用半切G12矽晶圓上實現熱蒸鍍的大面積鈣鈦礦/矽疊層電池，其穩定效率達到30.0%（200 cm²）。

將器件面積從1 cm²擴展到200 cm²，僅產生3.99%的相對效率損失，這是在鈣鈦礦基疊層電池中面積擴展報告的最低效率損失。

Eu基疊層電池在2000小時的濕熱老化（85°C/85% RH）後仍保留了95%的初始效率，並在兩個月的實際戶外運行後表現出可忽略的功率損失。